викладання дисципліни „Технологія напівпровідникових мікро- та наноструктур” є надання аспірантам базових знань з фізичних основ і закономірностей, напрямків розвитку, принципів і методів сучасної субмікронної - та нанотехнології, а також фізичних ефектів, яки визначають вибір технології реалізації структури, принципів масштабування в глибокосубмікронній області, процесів і операцій субмікронної - та нанотехнології, що використовуються при виготовленні надвеликих інтегральних схем для мікро- та наноелектроніки.
- Викладач: Стребежев Віктор Миколайович